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1、微机电系统(MEMS)基本上是指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装置，是一个独立的智能系统，主要由传感顺、作动器（执行器）和微能源三大部分组成。
2、MEMS技术的出现开辟了一个全新的领域和产业。
3、它们具有许多传统传感器无法比拟的优点，因此在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控和军事等领域都有着十分广阔的应用前景。
本文到此结束，希望对大家有所帮助。
mems传感器（关于mems传感器的介绍）
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